重庆计量检测激光干涉仪
来源: | 作者:proc22dfc | 发布时间: 2019-04-09 | 51 次浏览 | 分享到:
 激光干与仪是用于丈量位移的长度丈量东西,常用在机床丈量,它是如何进行丈量长度的呢?它的作业原理又是什么,本文将叙述激光干与仪的原理。感兴趣的童鞋快来看看吧。重庆计量校准价格
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来丈量长度的干与仪。以激光波长为已知长度、使用迈克耳逊干与系统(见激光测长技术)丈量位移的通用 长度丈量东西。  
 激光干与仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期呈现的,开始用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干与仪是1970年呈现的,它适宜在车间中使 用。激光干与仪在极接近标准状况(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、C O2含量0.03%)下的丈量精确度很高,可达1×10-7。  
 激光干与仪可合作各种折射镜、反射镜等来作线性方位、速度、角度、真平度、真直度、平行度和笔直度等丈量作业,并可作为精密东西机或丈量仪器的校正作业。  
 单频激光干与仪的作业原理:从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并别离从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而发生干与条纹。当可动反射 镜移动时,干与条纹的光强改变由接受器中的光电转化元件和电子线路等转化为电脉冲信号,经整形、扩大后输入可逆计数器核算出总脉冲数,再由电子核算机按核算式   式中:   λ为激光波长   N 为电脉冲总数   算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干与仪时,要求周围大气处于安稳状况,各种空气湍流都会引起直流电平改变而影响丈量结果。   如下图,双频激光干与仪的作业原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器发生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。 经1/4波片后成为两个相互笔直的线偏振光,再经分光镜分为两路:   一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参阅光束。  
 一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。   当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应发生的附加频率,正负号表明移动方向(多普勒效应是奥地利人 C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会发生改变)。 这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的丈量光束。丈量光束和上述参阅光束经各自的光电转化元件、扩大器、整形器后进入减法器 相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子核算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干与仪是使用频率改变来丈量位 移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强改变引起的直流电平改变不灵敏,所以抗干扰能力强。
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它常用于检定测长机、三坐标丈量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标丈量机等的丈量系统。使用相应附件,还可进行高精度直线度丈量、平面度丈量 和小角度丈量。  
 Ⅰ:方位精度的检测及其主动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。  
 Ⅱ:双轴定位精度的检测及其主动补偿 雷尼绍双激光干与仪系统可同步丈量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度,而且还能经过RS232接口,主动对两轴线 性差错别离进行补偿。  
 Ⅲ:数控机床动态性能检测 使用RENISHAW动态特性丈量与评估软件,可用激光干与仪进行机床振动测试与剖析(FFT),滚珠丝杠的动态特性剖析,伺服驱动系统的呼应特性剖析,导轨的 动态特性(低速爬行)剖析等。  
 Ⅳ:几许精度检测 可用于检测直线度、笔直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。  
 最后:激光干与仪有单频激光干与仪和双频激光干与仪两种,其中单频激光干与仪是经过发射激光束,有固定的波长,折返的激光束将光信号转化为脉冲信号,核算折返的脉冲总数,通 过核算得知位移间隔,等长度的丈量。

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